二氧化氮MEMS氣體傳感器

二氧化氮MEMS氣體傳感器是精訊暢通利用MEMS氣體傳感器技術制作的二氧化氮傳感器。二氧化氮MEMS氣體傳感器的微熱板是采用MEMS制作的，使用的氣敏材料是金屬氧化物半導體材料。該NO2氣體傳感器具有體積小、諧振頻率高、功耗低、響應時間短等特點，表面體積比高可以提高表面傳感器的敏感程度。